波長(nm)：266±1
輸出パワー (mW): 1~50
横モード : Near TEM00
作動方式:Frequency conversion of Q-switched pulsed laser
シングルパルスエネルギー(μJ): 0.1~5
パルス連続時間 (ns): ~7
平均パワー (mW): Average power (mW) = Single pulse energy (μJ) * Rep. rate (kHz)
パワー安定性 (rms, over 4 hours): <5%, <10%
予熱时间(minutes): <10
M2要素: <1. 5
ビームパラメータ : Elliptical (4:1), Beam spot ~2mm
偏振比：>100:1
ビーム高 (mm): 45
光束稳定性: <0.05
操作温度(℃): 10~35
電源: PSU-III-LED; PSU-III-FDA; PSU-III-OEM;
調節: TTL on/off, 1Hz-1KHz, 1KHz-10KHz, 10KHz-30KHz; and Analog modulation option
予期寿命: 10000
保証期限: 1 year
備考：because of the Walk-off effect of Nonlinear crystals, the beam quality of
UV laser is not so good as that of 1064/532nm laser.
現在、各マーケットにおいて微細加工の要求が高まっています。この要求に応えるため各社は特徴のあるレーザを用いた加工の紹介を行っております。中でもUVレーザおよびフェムト秒レーザを用いたレーザ加工が多く紹介されています。それぞれに利点がありユーザを悩ませていると思います。今回はこのうちのひとつである。UVレーザ（266nm）を使用した加工について紹介したいと思います。
